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秦创原共性技术研发平台见成效

       陕西在半导体与集成电路领域不仅具有突出的研发实力,还有较好的产业基础。其中,以碳化硅、氮化镓为代表的宽禁带半导体材料,被称为第三代半导体材料,是支撑信息、能源、交通、先进制造、国防等领域发展的重点新材料,是国际研究前沿和竞争焦点。


  为弥补实验室成果向工业化量产推进的短板,陕西省半导体与集成电路共性技术研发平台牵头单位陕西半导体先导技术中心加快碳化硅、氮化镓两条研发中试线的建设。目前,碳化硅中试平台搭建已经初步完成,并成功研发出650—3300伏碳化硅器件,其中多款产品填补了国内空白,部分型号已实现量产。


  随着这两条中试线的投入使用,陕西也将加快实现宽禁带半导体芯片完整中试工艺能力,加速突破宽禁带半导体先进制造瓶颈,加快建设具有世界一流水平的宽禁带半导体创新中心。


  启动建设以来,首批共性技术研发平台在攻克关键技术、服务共性需求上,均取得了成绩:秦川机床(西安)技术研究院以共性技术研发平台为依托,联合行业高精度、形状复杂零件加工单位,研制的高速立式加工设备,突破了高加速度机床共性技术难题,满足了国产机床高速、高精度的加工需求;陕西追光光子产业先导创新中心完成LED芯片制造工艺线搭建,为行业提供光刻、刻蚀、激光划片等全线工艺共性服务;西安稀有金属材料研究院攻克了大规格新型耐蚀钛合金铸锭的工业规模制备技术、大口径管材的成型技术和高质量冷拉焊丝工业化制备技术,完成了我国重大工程关键设备所需的多品种、多规格新型耐蚀钛材的制备任务。


  推动关键共性技术突破,为高质量发展注入源源动力成为共识。今年以来,省科技厅先后发布了两批“两链”融合重点专项“揭榜挂帅”课题榜单。聚焦秦创原创新资源,省科技厅启动部署了机床、新材料、半导体集成电路、新能源等“两链”融合重点专项。榜单课题皆为我省重点优势行业的关键共性技术需求。


  制定“揭榜挂帅”“创新联合体”“共性技术研发平台”等工作指引,支持在秦创原先行先试,是省科技厅加强核心技术攻关,推动“两链”融合的重要举措。“我们将继续加大力度支持高校、院所和企业在秦创原窗口区组建创新联合体,联合建设共性技术研发平台,聚焦产业链、供应链关键核心技术,开展研发攻关与创新突破,提升产业链竞争力。”省科技厅厅长孙科表示。


  共享,赋能产业发展


  光子产业被认为是21世纪具有巨大潜力的战略性新兴产业。


  陕西拥有西安光机所、西安交通大学、西安电子科技大学、空军工程大学、西北工业大学等一批光子学科健全、特色鲜明的高校院所,孵化出了以炬光科技、中科微精、奇芯光电、唐晶量子等为代表的一批国内领先企业,产业发展迅速。但是,光子产业重点环节仍存在“卡脖子”瓶颈,亟待突破。


  在中科院西安分院院长、中科院“大规模光子集成芯片”战略科技先导B专项首席科学家赵卫看来,建立我省的光子共性技术研发平台,通过灵活有效的协同创新,开展产业前沿技术研究与共性关键技术研发,是突破瓶颈的重要出路。


  5月13日,陕西省光子产业创新联合体成立。陕西省光子产业创新联合体是根据省委、省政府关于推进光子产业发展的系列工作部署,由陕西省科学院整合光子产业相关企业,联合西安光机所和西安交通大学等省内光子技术优势创新单位组建而成。“陕西省光子产业创新联合体将开展对光子产业的顶层设计、统一规划和整体部署,打造‘政产学研’多方融合的光子技术与产业新型研发机构,推动陕西光子产业‘政产学研’各主体战略思想统一、战略部署协同、战略任务联动。”赵卫介绍。


  顶层设计、整体部署、协同发展是共性技术研发平台的核心。陕西半导体先导技术中心搭建公共测试服务平台,建立集成电路测试、功率器件测试、射频器件测试、电子元器件失效分析和DPA等功能,开展行业五大类公共测试和服务,整合省内重要测试单位,为企业提供集成电路测试服务上百次,提升了现有测试资源利用率,实现“一站式”测试服务能力;秦川机床(西安)技术研究院在机床行业可靠性技术研究领域取得突破,并得到推广应用,建立为行业服务的“机床医院”和机床技术诊断与质量评价体系,开展可靠性设计技术、主要零部件综合性能与可靠性评估,提升机床行业整体技术水平;西安稀有金属材料研究院利用台式扫描电镜、离子减薄仪、摩擦磨损试验仪等检测设备,开展金属材料行业检测服务,建成分析测试中心、腐蚀评价中心和高性能计算中心,为金属材料行业的检测评价提供实验条件。


  培育,强化内生动力


  在秦创原共性技术研发平台的带动下,先进稀有金属材料、光子产业、半导体与集成电路、高档数控机床领域潜力不断释放:


  今年6月,西北有色金属研究院控股的西安凯立新材料股份有限公司在上交所科创板成功上市。西北有色金属研究院是陕西省先进稀有金属材料共性技术研发平台牵头单位,依托西安稀有金属材料研究院集聚整合相关科研力量和创新资源,带动上下游优势企业、高校院所共同参与,推动先进稀有金属材料技术研发与成果转化迈上新台阶,走向高质量发展。


  11月1日,莱特光电成功通过科创板2021年第80次上市委员会审议会议。这是继今年9月炬光科技首发过会科创板后,光子产业链诞生的又一家科创板企业。截至目前,陕西已有100余家光子技术企业,形成了光子制造、光子信息、光子传感、生物光子等几大产业集群,会聚了一批全球光子产业领军人才。陕西光子产业优势资源不断集聚,产业集群初具规模,预计到2023年,将实现千亿级产业规模目标。


  陕西半导体先导技术中心吸引集成电路领域初创企业30余家,孵化出以叩持电子、启明星半导体等为代表的一批集成电路领域优秀创新创业企业,预计今年服务企业营业收入超2亿元,并将持续培养半导体领域产业创新后备力量。


  秦川机床(西安)技术研究院与陕西高端机床创新研究院在西咸新区共同出资组建陕西秦川高端齿轮装备有限公司,以齿轮磨床性能提升为小切口,围绕高端数控系统研发、伺服性能保障技术、高速高效加工工艺技术、数控机床正向设计技术和测试检测技术等“卡脖子”技术领域开展专项攻关,形成“顶尖人才+优势资源”配置的技术攻关团队。(记者 张梅文/图)


  为“两链”融合探路先行


  长期以来,科教资源富集的陕西,产业发展并不理想,原因之一是研发活动与市场对接不畅,科技对经济的支撑引领作用不够显著。建设秦创原创新驱动平台,是陕西深化“两链”融合、释放科教资源潜力的重要抓手。着眼秦创原“三器”建设目标,我省开展了一系列探索。组建陕西省共性技术研发平台,就是其中之一。


  要发挥科技对经济发展的支撑引领作用,就要坚持面向世界科技前沿、面向经济主战场、面向国家重大需求、面向人民生命健康,围绕我省重点产业链上的缺失环节、薄弱环节、延伸环节等关键环节部署创新链,着力突破影响产业发展特别是骨干龙头企业发展的技术瓶颈,促进产业关键技术研发,推动产业转型升级。陕西省共性技术研发平台立足于开展行业共性技术研发与应用,以关键核心技术攻关、科研成果中试、产学研协同创新为核心使命。随着秦创原创新驱动平台建设的持续推进,行业共性技术有序研发,核心技术重点突破,产业链创新链发展基础不断夯实,在部分关键领域实现了工艺革新。同时,共性技术研发平台面向行业提供开放共享服务,促进平台赋能产业发展。例如,陕西半导体先导技术中心开展行业五大类公共测试和服务,搭建公共测试服务平台,整合省内重要测试单位,最大限度提升现有测试资源利用效率。


  在开展关键核心技术攻关,面向行业提供开放共享服务的同时,陕西省共性技术研发平台还肩负创新体制机制,探索灵活高效管理模式的使命。陕西半导体先导技术中心由西安电子科技大学、中国西电集团、西安高新区管委会三方共同出资筹建,大学科研团队作为技术入股,其中,西电集团为中心提供市场和需求,西安电子科技大学发挥自身技术优势,提供成熟科研成果和技术保障,西安高新区进行助推和支持,相互之间形成紧密合作的创新主体。通过增资扩股、银行贷款及产业成果转化、服务产品输出等形式,该中心建立了稳定的研发投入机制,为持续开展技术创新活动提供稳定的资金保障。陕西省共性技术研发平台成立以来,开展了一系列旨在激发创新活力的探索改革,取得一定成效。更深层次的体制机制改革还在继续。